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電源類產(chǎn)品
20kw雙極(中頻磁控)
時(shí)間:2020-04-23 14:43:35
來源:金創(chuàng)立科技
瀏覽次數(shù):
主要性能
JCL-HIP高功率脈沖磁控濺射電源以快速開關(guān)控制正負(fù)電極放電,避免從傳統(tǒng)磁控濺射之異常輝光放電區(qū)進(jìn)入電弧放電區(qū),電流密度可達(dá)10
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,比傳統(tǒng)磁控濺射高三個(gè)量級,離化率更高達(dá)70%-100% ,可輕易沉積各種高級膜,附著力強(qiáng)。幾乎不用改變原來磁控濺射鍍膜設(shè)備,可直接更換電源即可。
主要特點(diǎn)
DSP全數(shù)字控制,自動(dòng)化程度高
具有過流、過壓、超溫保護(hù)
全逆變設(shè)計(jì),大功率IGBT功率模塊為主要器件,脈沖輸出有較強(qiáng)的沖擊力,單脈沖功率可達(dá)MW級
主要參數(shù)
1、輸入電壓:380V±5%,50HZ,三相交流;
2、輸出電壓:100V-4000V,脈沖電壓;
3、輸出電流:100A-2000A,脈沖電流;
4、輸出脈寬:5-2500us,可設(shè)定;
5、頻率:30Hz-50kHz,可選擇范圍;
6、輸出功率:10KW 20KW 30KW 40KW 50KW
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